10:30 〜 10:45
[69] ナノグラニュラー薄膜のトンネル伝導に基づくゲージ効果
キーワード:ナノグラニュラー、ゲージ効果、トンネル伝導、ひずみ感度、Co-Ba-F
室温以上の温度でゲージ効果を発現するナノグラニュラー薄膜の開発を目的とし、Co-BaFナノグラニュラー薄膜を選択し、ゲージ率および膜構造について検討した結果を報告する。
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