[G] 分析・解析・評価

[171] その場電子顕微鏡法によるAuナノ接点の機械的特性のサイズ依存性解析

*吉澤 広樹¹、鈴木 快聖¹、木塚 徳志² (1. 筑波大院、2. 筑波大)

キーワード：その場観察、ナノ接点、透過電子顕微鏡、引張り試験

本研究では、Auナノ接点の機械的特性を調査するため、原子間力顕微鏡の機能を組み入れた透過電子顕微鏡を使用して、Auナノ接点の引張り過程をその場観察した。