[S7] S7.Materials Science and high temperature processing of widegap materials VI

[S7.1] [Keynote Lecture] Development of Wafer Quality Inspection Technique and International Standardization for SiC Power Semiconductor

*Junji Senzaki¹ (1. AIST)

Keywords:化合物パワー半導体、SiC、ウェハ品質検査技術、国際標準化

高品質なSiCウェハ製造とその安定供給体制の構築に向けたSiCパワー半導体ウェハ品質検査技術開発とその国際標準化に関する産総研での取り組みを紹介する.