3:50 PM - 4:10 PM
[S7.7] Effect of Substrate Rotation on AlN Crystal Growth by Solution Growth Process Using Molten Fe-Cr-Ni Alloy
Keywords:窒化アルミニウム、溶液成長法、結晶成長、鉄-クロム-ニッケル合金、溶解度積
Fe-Ni-Cr合金の一例としてSUS304Lをフラックスとして用いた溶液成長法によりサファイア基板上にAlN膜を製膜したテンプレート基板上にAlN結晶を成長させ,その成長挙動に及ぼす基板回転の効果について報告する.
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