[S7] S7.Materials Science and high temperature processing of widegap materials VI

[S7.7] Effect of Substrate Rotation on AlN Crystal Growth by Solution Growth Process Using Molten Fe-Cr-Ni Alloy

*Makoto OHTSUKA¹, Masayoshi ADACHI¹, Hiroyuki FUKUYAMA¹ (1. IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:窒化アルミニウム、溶液成長法、結晶成長、鉄－クロム－ニッケル合金、溶解度積

Fe-Ni-Cr合金の一例としてSUS304Lをフラックスとして用いた溶液成長法によりサファイア基板上にAlN膜を製膜したテンプレート基板上にAlN結晶を成長させ，その成長挙動に及ぼす基板回転の効果について報告する．