日本金属学会2024年秋期(第175回)講演大会

講演情報

公募シンポジウム講演

[S7] S7.ワイドギャップ結晶の材料学と高温プロセッシングVI

2024年9月20日(金) 13:00 〜 16:45 J会場 (全学教育推進機構講義A棟2階A204)

座長:安達 正芳(東北大学)、川西 咲子(京都大学)

15:50 〜 16:10

[S7.7] 溶融Fe-Cr-Ni合金を用いた溶液成長法によるAlN結晶成長に及ぼす基板回転の効果

*大塚 誠1、安達 正芳1、福山 博之1 (1. 東北大多元研)

キーワード:窒化アルミニウム、溶液成長法、結晶成長、鉄-クロム-ニッケル合金、溶解度積

Fe-Ni-Cr合金の一例としてSUS304Lをフラックスとして用いた溶液成長法によりサファイア基板上にAlN膜を製膜したテンプレート基板上にAlN結晶を成長させ,その成長挙動に及ぼす基板回転の効果について報告する.