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[S7.9] Cr-Ni溶媒を用いたAlNの溶液成長法の基礎的検討
キーワード:AlN、単結晶、結晶成長、Cr-Ni、溶解度
Cr-Ni合金を溶媒に用いたAlNの溶液成長は最大で300㎛/hでの成長が報告されている。本報では溶液成長における大口径結晶の育成技術を見据え、溶媒の熱力学的再検討と試験的な溶液成長を行った。
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