[P] P100~P104

[P104] SiO₂へのAgおよびCo二重イオン照射注入による生成粒子の照射順序依存性

*松尾 駿之介¹、矢倉 稜斗²、岩瀬 彰宏^1,2、松井 利之^1,2、田口 昇³、田中 真悟³、千星 聡⁴、堀 史説^1,2 (1. 大阪公大、2. 大阪府大、3. 産総研、4. 東北大金研)

キーワード：イオン照射、ナノ粒子、非平衡構造、SiO₂

イオン注入法を用いて、室温で固溶しないAgとCoを同一のSiO₂に順番に照射し、順番を入れ替えて照射した場合のナノ構造体の形態および光吸収特性について評価し比較した。