[P] P131~P137

[P132] Molecular Dynamics Simulations for Elucidating the Residual Stress Generation Mechanism in DLC Film Formation on Iron Substrates

*Noritsugu KAMETANI¹, Morimasa Nakamura², Kisaragi Yashiro³, Tomohiro Takaki⁴ (1. Kyoto Inst. of Tech., 2. Doshisha Univ., 3. Gifu Univ., 4. Kyoto Inst. of Tech.)

Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、残留応力、分子動力学、トライボロジー

DLC膜は基板との密着性が低い．その原因の一つに膜内の高い残留応力があり，メカニズムの解明は不可欠である．本研究は，鉄基板上のDLC膜成長時の残留応力と炭素結合形成への影響を分子動力学を用いて評価した．