[P] P131~P137

[P133] Surface hardening of commercial purity titanium using radio-frequency magnetron discharged He plasma

*Kazuha MARUYAMA¹, Mitsuhiro Hirano² (1. Kagawa Univ, 2. Kagawa Univ)

Keywords:Ti、Heプラズマ、表面硬化、高周波マグネトロン放電

工業的汎用性の高い高周波マグネトロン放電を用いて発生させたHeグロー放電プラズマによりHeイオンならびに原子を注入し、Ti材料表面の硬化層形成に成功した。