4:00 PM - 5:30 PM
[P133] Surface hardening of commercial purity titanium using radio-frequency magnetron discharged He plasma
Keywords:Ti、Heプラズマ、表面硬化、高周波マグネトロン放電
工業的汎用性の高い高周波マグネトロン放電を用いて発生させたHeグロー放電プラズマによりHeイオンならびに原子を注入し、Ti材料表面の硬化層形成に成功した。
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