[P] P168~P180

[P170] イオンビームスパッタリングによるAl₂O₃表面のリップル構造形成における重畳照射効果

*赤嶺 章太郎¹、大石 脩人¹、新田 紀子² (1. 高知工大（院生 ）、2. 高知工大)

キーワード：Al₂O₃、ripple、ion beam、Sputtering、Superimposed Irradiation

イオンビームをAl₂O₃に重畳照射した際のリップル構造について調べた。