[P] P19~P28

[P27] A comparison of Ga-FIB and Xe-pFIB for APT sample preparation of Al alloys

*Kaori Jogo¹, Jun Koyama¹, Satoru Nakajima¹, Koichi Sawaguchi¹, Satoshi Ishimura¹ (1. Toshiba Nanoanalysis Corporation)

Keywords:３次元アトムプローブ、3DAP、APT、３次元構造解析、金属、Al合金、FIB、Xe-pFIB、加工ダメージ、アーティファクト

3DAPは、原子レベルで3次元元素分布を評価できる分析手法である。Ga-FIBとXe-pFIBで針状試料加工したAl合金を3DAP分析することで、FIB加工ダメージ（Ga、Xe侵入深さ）を比較検証した。