[P] P19~P28

[P28] Research on the electron irradiation-electronic excitation induced crystallization of Pt-Si amorphous phase/SiOx specimens
by network tele-microscopy

*Daichi YAMAGUCHI¹, Koh YAMAMOTO¹, Takeshi NAGASE¹, Michiru YAMASHITA², Kazuhisa SATO³, Ryuji NISHI⁴, Satoshi ICHIKAWA³ (1. University of Hyogo, 2. Hyogo Prefectural Institute of Technology, 3. Osaka University, 4. Fukui University of Technology)

Keywords:電子顕微鏡、電子励起、アモルファス相、結晶化

Network tele-microscopy を利用した(Pt-Si アモルファス相)/SiOx 界面における電子励起誘起結晶化現象の研究について報告する