[P] P19~P28

[P27] Ga-FIBおよびXe-pFIB加工したアルミニウム合金の3DAP分析

*城後 香里¹、小山 純¹、中島 悟¹、澤口 晃一¹、石村 聡¹ (1. 東芝ナノアナリシス株式会社)

キーワード：３次元アトムプローブ、3DAP、APT、３次元構造解析、金属、Al合金、FIB、Xe-pFIB、加工ダメージ、アーティファクト

3DAPは、原子レベルで3次元元素分布を評価できる分析手法である。Ga-FIBとXe-pFIBで針状試料加工したAl合金を3DAP分析することで、FIB加工ダメージ（Ga、Xe侵入深さ）を比較検証した。