[P] P39~P46

[P41] Microstructure and high-temperature hardness property of metallic glass films containing different rare gas elements.

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:アンバランスドマグネトロンスパッタ法、金属ガラス、希ガス、微細組織、ナノインデンテーション法

UBMスパッタ法によりAr、NeおよびAr＋Neを含有した金属ガラス膜を作製し、膜の微細組織観察と高温硬さの評価を行った。