フランスに本社を持つCAMECAは、1929年の創設以来、世界の研究界に対する科学機器のメーカーから、半導体産業向けの計測ソリューションのプロバイダへと進化してきました。
そして下記に示す数々の優れた微量分析技術を開発、改良してきました:
- ダイナミック二次イオン質量分析装置(SIMS)
固体試料中の数10µm~サブµm領域の高感度な元素分析または同位体分析が可能
- 3次元アトムプローブ装置(APT)
固体試料中の数10nm程度の領域に含まれる3次元元素分布を高感度かつサブnmの空間分解能で取得可能
- 電子線マイクロアナライザ(EPMA)


製品一覧はこちら
https://www.cameca.jp/product/
 

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CAMECAのダイナミックSIMS、並びに3次元アトムプローブによる分析事例:
〇 微小領域の同位体分析
〇 軽元素分析
〇 鉱物中の微量元素の偏析を捉えたイオンイメージング
等、下記に数多く取り揃えております
分析事例｜アメテック株式会社カメカ事業部 (cameca.jp)
 

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CAMECAは、ダイナミックSIMSや3次元アトムプローブの最新使用事例等に関するウェビナーをオンデマンドでも行っております:
〇 ダイナミックSIMS
〇 3次元アトムプローブ
 

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その他、何かご質問がございましたらば、下記ページよりご連絡をお願い致します:
お問合せ｜アメテック株式会社カメカ事業部 (cameca.jp)