17:15 〜 19:15 [STT41-P05] 双音叉水晶振動子を用いた周波数変化型加速度トランスデューサの高感度化と常時微動デジタル計測への応用 *轟原 正義1、大戸 正之1、森 遼雅1、吉川 泰史1 (1.セイコーエプソン株式会社 マイクロデバイス事業部)