○河野 利哉¹、M.B. シャバニー¹、橋本 侑宜² (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

○モハマッド Ｂ．シャバニ¹、河野 利哉¹、橋本 侑宜² (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

○鈴木 幸志¹、榎本 葉月¹、一之瀬 達也¹、川端 克彦¹ (1. 株式会社イアス)