[2Yin5] インタラクティブ2

[2Yin5-19] 位相限定相関法による位置検出の精度評価における機械学習の応用

〇小此木 慎哉¹、富山 眞之介¹、山本 将志¹、北川 純¹、北岡 風太¹、張 劬¹ (1.キヤノン株式会社)

キーワード：機械学習、位相限定相関法、位置検出

露光装置における画像処理用いた位置合わせにおいて,位相限定相関法を適応した.その結果から算出された位置ずれ量は異常値となる場合もあり,その値の大きさからでは判定ができない.
そこで本研究では,位相限定相関法によって得られた画像に対し,AIを用いた異常検知を試みた.この結果,異常画像をPositiveとした場合,Accuracyは96%程度,Recallは99[%]程度の精度が得られた.