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[V-18] AOV Co.,Ltd
1.蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース式等） 2.複合型PLD/MBE蒸着装置 3.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置
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