■SiCウエハ(3~6インチ）、薄膜ウエハ（20~150um厚)、矩形ウエハ（□125mm等）、3次元実装用Chi等多様化するご要求に対して、既存の半導体装置を無改造で使用できる搬送キャリア（Silicon Carrier:SC）を製造販売中。 ■露光装置用SC・エッチャ用SC・イオン注入用SC・アニール用SC等 ■静電チャック対応SC、耐熱SCや450mmウエハ対応の装置開発用SC等 ■三次元実装用Chip貼り合わせサービスや装置に合わせたカスタマイズも承ります。