1. 分光エリプソメーター GES5E　(膜厚、光学特性測定) 2. 高感度DLTSシステム DLS-1000　(不純物濃度解析装置) 3. 高効率太陽電池開発開発用測定装置 PV-2000　(QSS-uPCD, 非接触CV測定、電界効果パッシベーション評価) 4. ライフタイム測定装置 WT-2000　(LBIC, 非接触シート抵抗測定、非接触比抵抗測定) 5. ロールツーロール測定装置 SE-R2R　(膜厚測定、シート抵抗、ラマン、透過率) 6. 光学式ポロシメーター EP　(色素増感太陽電池 TiO2の細孔率測定装置)