■マイクロ波プラズマCVD装置(Seki Diamond Systems) ■ロックインアンプ(Stanford Research Systems) ■残留ガスアナライザ(Stanford Research Systems) ■電子冷却式シリコンドラフトX線検出器(SGXsensortech) ■赤外線カメラ/赤外線サーモグラフィー(FLIR Systems) ■屈折率･膜厚測定装置(Metricon) ■熱拡散率測定装置(Bethel) ■窒化シリコン薄膜(Silson) ■クライオスタット/クライオジェニックシステム(ICEoxford)