出展者情報
[T-10] サムコ(株)
■SiC製パワーデバイス向け高密度プラズマエッチング装置『RIE-600iP』 ■TEOS-SiO2成膜用液体ソースプラズマCVD装置『PD-270STL』
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住所
612-8443
京都府京都市伏見区竹田藁屋町36 -
Tel
075-621-7841
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Fax
075-621-0936
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