2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

出展者一覧

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[X-8] (株)魁半導体

■【 回転型卓上真空プラズマ装置 型式:YHS-DφS 】回転式チャンバーを搭載。様々なサンプルの表裏を一括処理できます。Oリングやコンデンサー、紛体などと様々な用途にお使い頂けます。また、卓上におけるサイズまで小型化しました。【 ペン型大気圧プラズマ装置 型式:P500-SM 】ラボ用途・スポット処理に最適なペン型タイプの大気圧プラズマ装置です。照射面積が小さく、微細な部分やスポット処理に...

[V-8] 三和真空(株)

■英国オッスクフォードアプライドリサーチ社:ピエゾリークバルブアトムソース、エバポレータ ■米国MeiVac社:マグネトロンスパッタソース、基板ヒーター ■三和真空(株)社:オリジナル継手 ■その他:フォアライントラップ

[SP-8] (株)スプリード

■ALD装置 ■MO-CVD装置 ■TEOS-CVD装置 ■スパッタ装置 ■EB装置 ■レーザーアブレーション装置 ■オゾン発生装置 ■蒸着装置 ■Cat-CVD装置 ■UHV排気装置 ■UHVゲートバルブ ■EBガンユニット ■真空計 ■ターボ分子ポンプ ■真空コンポーネント

[OP-1] (株)スペクトラ・コープ

①2次元CCD小型高感度分光装置 Solid Lambda CCD ②Wi-Fi対応フィールド用分光装置 Field Lambda ETH ③携帯型小型分光装置 ColoMeter ④積分球 ⑤小型色彩輝度照度測定装置 ColoSuke- SA ⑥分光放射輝度計・照度計 Spectra-Lumi