■PBNヒータ、PBN静電チャック、PBNヒータモジュール、PBNルツボ ■TaC/PBN/PGコーティング ■焼結BN、BNパウダー

■±0.5μmの実装精度を実現した、ドイツFinetech社製 高精度ダイ/フリップチップボンダー装置（FINEPLACER） ■ギ酸ガスに対応。最大到達温度450℃の、ドイツUniTemp社製 卓上型真空はんだリフロー装置（RSSシリーズ）

■データ解析・グラフ作成ソフトウェア「Orgin」

■X線回折装置 ■熱分析装置

■超高真空マイクロプローブ ■超高真空マイクロプローブ ■冷却・加熱機構組込マイクロプローブ ■マイクロプローブ式ホール効果測定装置

■ラマン顕微鏡 ■顕微分光計測システム

■ハイブリッドレーザーマイクロスコープ

■ピエゾポジショナー ■レーザー干渉変位計 ■希釈冷凍機