[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:15 〜 09:30

△ [17a-C2-1] フルオロカーボン（FC）・ハイドロフルオロカーボン（HFC）プラズマエッチングにおけるSiN/SiO₂選択性の解析

^○（M2）三宅啓太¹，礒部倫郎¹，深沢正永²，長畑和典²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大工¹，ソニー²)

09:30 〜 09:45

^○溝谷浩平，礒部倫郎，浜口智志 (阪大院工)

09:45 〜 10:00

^○李虎，村木裕，唐橋一浩，浜口智志 (阪大院工)

10:00 〜 10:15

^○（M2）村木裕¹，李虎¹，伊藤智子¹，唐橋一浩¹，松隈正明²，浜口智志¹ (阪大院工¹，東京エレクトロン²)

10:15 〜 10:30

^○重歳卓志，深沢正永，長畑和典，辰巳哲也 (ソニー)

休憩　 (10:30 〜 10:45)

10:45 〜 11:00

^○廣田侯然，大森健史，根岸伸幸 (日立中研)

11:00 〜 11:15

^○張彦，竹内拓也，永野浩貴，石川健治，関根誠，竹田圭吾，近藤博基，堀勝 (名大)

11:15 〜 11:30

^○（D）近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)

11:30 〜 11:45

^○栗原一彰，吉木昌彦，中崎靖 (東芝　研開セ)