[18a-C2-1~8] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月18日(水) 09:30 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:30 〜 09:45

[18a-C2-1] CHxF4-x(x=0-3)化合物の電子衝突解離(III)

^○林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名古屋)

09:45 〜 10:00

^○久保田智広¹，佐藤充男²，岩崎拓也³，小野耕平³，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，原田産業²，みずほ情報総研³，東北大WPI-AIMR⁴)

10:00 〜 10:15

渡辺尚貴¹，大塚晋吾¹，岩崎拓也¹，小野耕平¹，入江康郎¹，望月俊輔²，^○久保田智広³，寒川誠二^3,4 (みずほ情報総研¹，数理システム²，東北大流体研³，東北大WPI-AIMR⁴)

10:15 〜 10:30

^○田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工)

休憩　 (10:30 〜 10:45)

10:45 〜 11:00

^○（PC）宮脇雄大，王浩然，近藤祐介，石川健治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

11:00 〜 11:15

^○（M2）王浩然¹，石川健治¹，堀邉英夫²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，金沢工大²)

11:15 〜 11:30

^○（D）中崎暢也，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

11:30 〜 11:45

^○鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大工)