09:00 〜 09:15
○井上純一1，神田健介1,2，斎藤誉司2，藤田孝之1,2，前中一介1,2 (兵庫県立大電気系工学1，日本科学技術振興機構2)
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セッション情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化
2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 B4 (TC2 1F-106)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
09:15 〜 09:30
○廖梅勇1，戸田雅也2，Liwen Sang1，井村将隆1，菱田俊一1，田中秀治2，小出康夫1 (物質・材料研究機構1，東北大院工2)
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09:30 〜 09:45
○高川陽輔1，増田恭平1，小川新平2，木股雅章1 (立命館大1，三菱電機2)
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09:45 〜 10:00
○増田恭平1，高川陽輔1，小川新平2，木股雅章1 (立命館大1，三菱電機2)
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10:00 〜 10:15
○住友慶子，伊藤佐千子，多喜川良，辻村範行，加藤久幸，小林健，前田龍太郎，亀井利浩 (産総研・集積マイクロシステムRC)
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10:15 〜 10:30
○（P）Faezeh Arab Hassani1，シシリア デュプレ2，エリク オリエ2，セバスチャン バーチュー3，エイドリアン イオネスク3，土屋良重4，水田博4 (北陸先端大1，CEA-LETI2，EPFL3，サザンプトン大4)
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休憩 (10:30 〜 10:45)
10:45 〜 11:00
○稗田克彦1，Tom Miyazaki2，Sara Peters2，Paru Deshpande3，Liesbet Lagae3，John O’callghan3，Josine Loo3，Chengxun Liu3，Bivragh Majeed3，Karolien Jans3 (JSR1，JSR Micro N.V.2，IMEC3)
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11:00 〜 11:15
○林隆平1，中澤寛一1，石田誠1，澤田和明1，石井仁1，町田克之2,3，石原昇2，益一哉2，王常楽4，飯田健一郎4，齋藤光正4，吉田眞一4 (豊橋技術科学大1，東工大2，NTTアドバンステクノロジ3，九大医学研究院4)
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11:15 〜 11:30
○岩鍋圭一郎，首藤高徳，浅野種正 (九大)
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11:30 〜 11:45
○小林健1，小山昌二2，牧本なつみ1，舟窪浩3，前田龍太郎1 (産総研1，ヒロセ電機2，東工大3)
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11:45 〜 12:00
○本間浩章，高橋一浩，石井仁，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)
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12:00 〜 12:15
○高橋一浩，小澤遼，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)
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