[19a-C1-1~11] 8.2 プラズマ診断･計測

2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:00 C1 (TC3 1F-101)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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09:00 〜 09:15

▼ [19a-C1-1] カーリングプローブのパルスプラズマへの応用

^○アニルパンデイ¹，榊原渉²，松岡宏之²，中村圭二¹，菅井秀郎¹ (中部大¹，DOWA サーモテック²)

09:15 〜 09:30

[19a-C1-2] 高出力パルスマグネトロンスパッタ源から放出された2次粒子強度の時間特性

^○塚本恵三^1,2，田村哲郎¹，小安喜一郎¹，大下慶次郎¹，山本宏晃²，戸名正英²，美齊津文典¹ (東北大院理¹，アヤボ²)

09:30 〜 09:45

△ [19a-C1-3] 生産現場における異常検出のための特性インピーダンスモニタリング法

^○本村大成¹，笠嶋悠司¹，福田修¹，上杉文彦¹，栗田裕之²，木村直也² (産総研生産計測¹，アドバンテスト²)

09:45 〜 10:00

△ [19a-C1-4] プラズマエッチング装置におけるパーティクルの突発的多量発生

^○笠嶋悠司，鍋岡奈津子，本村大成，上杉文彦 (産総研)

10:00 〜 10:15

△ [19a-C1-5] 反応性プラズマにおけるナノ粒子量空間分布の変調周波数依存性

^○（M2）森田康彦¹，岩下伸也²，山下大輔¹，内田儀一郎¹，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大シス情¹，ルール大²)

休憩　 (10:15 〜 10:30)

10:30 〜 10:45

[19a-C1-6] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）AC励起非平衡大気圧Arプラズマジェットにおける活性種生成への大気巻き込みの影響

^○竹田圭吾¹，石川健治¹，田中宏昌¹，加納浩之²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，NUエコ・エンジニアリング²)

10:45 〜 11:00

[19a-C1-7] チタンサファイアレーザのＳＨＧによるプラズマ分光計測

^○渡邉健太，西宮信夫，鈴木正夫 (東京工芸大院)

11:00 〜 11:15

[19a-C1-8] 小口径放電管内で13.56 MHz RF スイッチングにより生成された酸素負イオンのレーザー光脱離法による計測

^○清原彰¹，比村治彦¹，三瓶明希夫¹，岡田成文²，政宗貞夫¹ (京都工芸繊維大¹，阪大²)

11:15 〜 11:30

[19a-C1-9] 大気圧以上のガス圧を有するマイクロ波プラズマにおけるレーザートムソン散乱計測

^○相馬俊太郎¹，池田裕二²，佐々木浩一¹ (北大工¹，イマジニアリング²)

11:30 〜 11:45

[19a-C1-10] 大気圧非平衡放電プラズマによる水溶性有機溶媒の分解

^○湯地敏史¹，廣谷太佑¹，津田勇¹，清田佑一¹，木之下広幸²，中林健一¹，岡村好美¹，青木慎二³ (宮崎大教¹，宮崎大工²，アドテックプラズマ³)

11:45 〜 12:00

△ [19a-C1-11] 和周波発生分光による界面水分子構造の外部電場依存性の調査

^○近藤崇博，伊藤剛仁 (阪大院工)