一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成･制御

[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

2013年9月19日(木) 13:30 〜 18:00 C1 (TC3 1F-101)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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13:30 〜 13:45

△ [19p-C1-1] 多目的マイクロ波アンテナの大面積化と高密度プラズマ生成

^○近藤将吾¹，中野優¹，高田昇治¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²)

13:45 〜 14:00

[19p-C1-2] ＥＣＲ加熱プラズマによる多価イオンの生成における二重周波数の依存性（４）

^○北川敦志¹，村松正幸¹，Arne.G. Drentje¹，矢野慧介²，加藤裕史²，Sandor Biri³，佐々木規之⁴，高杉亘⁴ (放医研¹，阪大工²，ATOMKI³，加速器エンジニアリング⁴)

14:00 〜 14:15

△ [19p-C1-3] ECRECRイオン源における共鳴点形状とプラズマパラメータおよびイオンビーム電流の関係

^○（M2）矢野慧介，木村大樹，熊倉翔，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

14:15 〜 14:30

[19p-C1-4] ECR多価イオン源プラズマにおける電子エネルギー分布関数

^○（M1）熊倉翔，栗栖庸輔，木村大樹，矢野慧介，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

14:30 〜 14:45

[19p-C1-5] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマのイオンビーム電流量に対する引出電極の中間電位効果

^○木村大樹，矢野慧介，熊倉翔，今井洋太，佐藤文信，加藤裕史，飯田敏行 (阪大院工)

14:45 〜 15:00

[19p-C1-6] 負透磁率空間に生成されたマイクロ波プラズマの時空間分布診断(Ⅱ)

^○中村嘉浩，酒井道 (京都大院工)

15:00 〜 15:15

[19p-C1-7] 大気圧マイクロ波放電におけるパルス停止時間のプラズマへの影響

^○江頭一輝¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ工学研究センター²)

15:15 〜 15:30

△ [19p-C1-8] 新規アンテナ構造を用いたメートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの生成

^○鈴木陽香¹，中野優¹，伊藤仁^2,3，関根誠^1,2，堀勝^1,2，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大PLANT²，東京エレクトロン³)

15:30 〜 15:45

△ [19p-C1-9] 室温下で高純度ZnO粒子生成に用いる酸素負イオン源の開発

^○山本昌良¹，比村治彦¹，岡田成文²，三瓶明希夫¹，政宗貞男¹ (京都工繊大¹，阪大工²)

休憩　 (15:45 〜 16:00)

16:00 〜 16:15

△ [19p-C1-10] 3D-ハイブリッドPIC/MCC法を用いた反応性プラズマ蒸着による膜厚分布の磁場依存性数値シミュレーション

^○宮下大，北見尚久，酒見俊之，青木康，加藤隆典 (住重技研)

16:15 〜 16:30

[19p-C1-11] 方形波電圧パルスによる大気圧非平衡プラズマ生成時のパルス幅の最適化の検討

^○中野俊樹，白井博之，北嶋武 (防衛大)

16:30 〜 16:45

[19p-C1-12] BSO結晶を用いた自己組織化マイクロギャップ誘電体バリア放電の表面電荷密度測定

^○高橋諒太，松田紘和，亀山拓也，向川政治，高木浩一，藤原民也 (岩手大)

16:45 〜 17:00

[19p-C1-13] 回路構造を利用したソリューションプラズマの特性制御

^○Heo Yongkang¹，木口崇彦²，齋藤永宏^1,2,3,4 (名大院工¹，名大グリーンモビティ²，名大エコ³，JST-CREST⁴)

17:00 〜 17:15

[19p-C1-14] プラズマからのイオン照射による水のスパッタリング過程とパラメータ依存性

^○（M2）皆川優大，白井直機，内田諭，杤久保文嘉 (首都大院理工)

17:15 〜 17:30

[19p-C1-15] 液面へ電子または正イオンが照射された際に液中へ誘起される反応のシミュレーション

^○杤久保文嘉¹，白井直機¹，内田諭¹，白藤立² (首都大院理工¹，大阪市立大院工²)

17:30 〜 17:45

[19p-C1-16] プラズマジェット発生器への供給ガスによる殺菌範囲の制御

^○川崎敏之，河野航大，溝口博士，矢野裕士，山下佳亮，坂井美穂 (日本文理大工)

17:45 〜 18:00

[19p-C1-17] プラズマラジカル流のバブリングによる大腸菌群の殺菌処理

^○吉木宏之 (鶴岡高専)