[16a-A13-1~10] 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

[16a-A13-5] TES型マイクロカロリーメーターによるＸ線スペクトル測定

^○椎山謙一¹，真崎裕次²，籐昇一³，前畑京介²，田中啓一⁴，安田和弘²，松村晶² (純真学園大保健医療¹，九州大院工²，九大ＨＶＥＭ³，日立ハイテクノロジーズ⁴)

キーワード：Ｘ線スペクトル,元素分析,エネルギー分散型