[16a-A13-1~10] 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

[16a-A13-7] 電子ビーム照射を受けた導電性基板上絶縁体薄膜の二次元電位分布測定

^○（M1）熊谷健太朗，細井創介，大谷優，小寺正敏 (大阪工業大)

キーワード：電子ビーム,帯電