[16a-A13-1~10] 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

[16a-A13-9] SEM-EBSD法によるGaN膜の結晶方位マッピング時におけるFIBとカーボンデポを用いたドリフト抑制方法の評価

^○森田博文¹，江川孝志¹，廣田秀樹²，二村和孝² (名工大¹，日立ハイテク²)

キーワード：EBSD,FIB,Micro-sampling