[16a-A2-1~3] 1.1 応用物理一般

△ [16a-A2-2] シリカ砥粒を用いたα-Al₂O₃基板の化学機械研磨メカニズムの第一原理計算による検討

^○尾澤伸樹，周康，會澤豪大，樋口祐次，久保百司 (東北大¹)

キーワード：化学機械研磨,第一原理計算,サファイア