09:15 〜 09:30
▲ [16a-B3-1] 異なるガス流れ解法を用いたCZ-Si結晶成長におけるアルゴンガス流れおよび不純物輸送の予測
キーワード：cz
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.1 バルク結晶成長
[16a-B3-1~11] 15.1 バルク結晶成長
2013年9月16日(月) 09:15 〜 12:00 B3 (TC2 1F-105)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.1 バルク結晶成長
2013年9月16日(月) 09:15 〜 12:00 B3 (TC2 1F-105)
09:15 〜 09:30
キーワード：cz