[16a-B4-1~9] 15.2 II-VI族結晶

[16a-B4-1] Sイオン注入ZnOエピタキシャル膜の低抵抗化の起源

^○上岡一馬¹，栗山一男¹，串田一雅² (法政大¹，大阪教育大²)

キーワード：ZnO