[16a-B4-1~9] 15.2 II-VI族結晶

[16a-B4-6] UHVスパッタエピタキシーによるZnS層の成長(II)

^○増田貴則，笹原駿介，比留間翔太，濱田夕慎，小橋勇希，多田暁由，福井迪，篠田宏之，六倉信喜 (東京電機大)

キーワード：ZnS,スパッタ