2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年9月16日(月) 09:00 〜 12:00 B5 (TC2 2F-201)

11:15 〜 11:30

[16a-B5-9] Mg添加(0001)面p型GaN上への(001)面Nb添加アナターゼのヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシャル成長と電気伝導特性

山岸正裕1,羽豆耕治1,大友友美1,石川陽一1,古澤健太郎1,中山徳行2,秩父重英1 (東北大多元研・院工1,住友金属鉱山2)

キーワード:二酸化チタン