[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

[16p-A13-1] 「ビーム応用分科内招待講演」（30分）ナノメカニクスとその波長計測への応用

^○米谷玲皇 (東大工)

キーワード：ナノメカニクス,ナノ振動子,集束イオン・電子ビーム