[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

△ [16p-A13-12] SR吸収分光法によるEUV用化学増幅系レジストの反応解析

^○（M1）江村和也¹，渡邊健夫¹，塩野大寿²，春山雄一¹，村松康司¹，大森克実²，佐藤和史²，原田哲男¹，木下博夫¹ (兵庫県立大¹，東京応化工業²)

キーワード：レジスト