[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

△ [16p-A13-13] 軟X線反射率改善用W/Siスーパーミラーの開発

^○九鬼真輝，原田哲男，渡邊健夫，木下博雄 (兵庫県立大)

キーワード：スーパーミラー,多層膜,EUVリソグラフィー