[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

[16p-A13-2] 液晶プロジェクタを利用したデスクトップ型マスクレス露光装置の検討

^○小山宗一郎，斉藤健二，堀内敏行 (東京電機大院工)

キーワード：液晶ディスプレイ