[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

[16p-A13-4] 微細管内面パターンの非破壊観察

^○（M1）木村のぞみ¹，佐藤圭介²，堀内敏行^1,2 (東京電機大院工¹，東京電機大工²)

キーワード：内面リソグラフィ,非破壊観察