15:00 〜 15:15
[16p-A13-6] Q値向上のための３次元ナノメカニカル共振器の設計と作製
キーワード：3Dナノ加工,ナノメカニカル共振器
講演情報
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ
[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:30 A13 (TC1 3F-323)
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ
2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:30 A13 (TC1 3F-323)
15:00 〜 15:15
キーワード：3Dナノ加工,ナノメカニカル共振器