2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.3 リソグラフィ

[16p-A13-1~14] 7.3 リソグラフィ

2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:30 A13 (TC1 3F-323)

16:00 〜 16:15

[16p-A13-9] 半導体露光用高出力ArFエキシマレーザ(120W)の開発(Ⅲ)

本多基記,佐々木陽一,熊崎貴仁,對馬弘朗,黒須昭彦,柿崎弘司,松永隆,溝口計 (ギガフォトン)

キーワード:リソグラフィ,エキシマレーザ,lithography