[16p-A2-1~8] 1.3 新技術

[16p-A2-2] 表面処理を施したダイヤモンド薄膜におけるp型表面伝導層のコンダクタンスとNO₂に対する応答速度

^○（DC）春田憲一¹，木村英樹²，千葉雅史³ (東海大院総合理工¹，東海大工²，東海大開発工³)

キーワード：ガスセンサ,ダイヤモンド