2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

01.応用物理学一般 » 1.3 新技術

[16p-A2-1~8] 1.3 新技術

2013年9月16日(月) 13:30 〜 15:45 A2 (TC1 1F-116)

14:45 〜 15:00

[16p-A2-5] MOD法によるSi3N4/SiO2メンブレン上へのVOxボロメータ薄膜の作製

松下亮仁,立木隆,内田貴司 (防衛大理工)

キーワード:テラヘルツ