[16p-A2-1~8] 1.3 新技術

[16p-A2-5] MOD法によるSi₃N₄/SiO₂メンブレン上へのVO_xボロメータ薄膜の作製

^○松下亮仁，立木隆，内田貴司 (防衛大理工)

キーワード：テラヘルツ